Η τεχνολογία Magnetron sputtering (PVD) είναι μία από τις βασικές τεχνολογίες για την παρασκευή υλικών λεπτής μεμβράνης. Υψηλής καθαρότητας-υλικά-στόχοι επιμετάλλωσης τιτανίου είναι βασικά αναλώσιμα στη διαδικασία ψεκασμού με μάγνητρο και έχουν ευρείες προοπτικές εφαρμογής στην αγορά. Ως υλικό επίστρωσης υψηλής-προστιθέμενης αξίας-, τα υλικά-στόχοι τιτανίου έχουν αυστηρές απαιτήσεις όσον αφορά τη χημική καθαρότητα, τη μικροδομή και την απόδοση, και είναι εξαιρετικά τεχνικά και δύσκολα στην επεξεργασία.
Τα υλικά στόχων τιτανίου Magnetron sputtering χρησιμοποιούνται κυρίως στη βιομηχανία ηλεκτρονικών και πληροφοριών, όπως ολοκληρωμένα κυκλώματα, επίπεδες οθόνες και διακοσμητικά πεδία επίστρωσης στη βιομηχανία διακόσμησης σπιτιού και αυτοκινήτου, όπως διακοσμητική επίστρωση γυαλιού και διακοσμητική επίστρωση πλήμνη τροχών, όπως φαίνεται στο σχήμα 1. και ακρίβεια διαστάσεων. Η καθαρότητα των υλικών-στόχων τιτανίου για ολοκληρωμένα κυκλώματα είναι κυρίως πάνω από 99,995% και επί του παρόντος βασίζονται κυρίως στις εισαγωγές. Στην αγορά για υλικά-στόχους τιτανίου που χρησιμοποιούνται σε επίπεδες οθόνες, η αγορά οθονών υγρών κρυστάλλων (LCD) είναι η μεγαλύτερη, αντιπροσωπεύοντας περισσότερο από το 90%. Η οθόνη LCD θεωρείται η πιο πολλά υποσχόμενη συσκευή επίπεδης οθόνης επί του παρόντος. Η εμφάνισή του έχει επεκτείνει σημαντικά το φάσμα εφαρμογών των οθονών, από οθόνες φορητών υπολογιστών, οθόνες επιτραπέζιων υπολογιστών, τηλεοράσεις LCD υψηλής ευκρίνειας έως κινητές επικοινωνίες. Διάφορα νέα προϊόντα LCD επηρεάζουν τις συνήθειες ζωής των ανθρώπων και οδηγούν την ταχεία ανάπτυξη της παγκόσμιας βιομηχανίας πληροφοριών.
Η καθαρότητα των υλικών-στόχων τιτανίου έχει σημαντικό αντίκτυπο στην απόδοση των διασκορπισμένων φιλμ. Όσο υψηλότερη είναι η καθαρότητα, τόσο λιγότερα σωματίδια στοιχείου ακαθαρσίας στο διασκορπισμένο φιλμ τιτανίου, με αποτέλεσμα καλύτερη απόδοση του φιλμ, συμπεριλαμβανομένης της καλύτερης αντίστασης στη διάβρωση και των ηλεκτρικών και οπτικών ιδιοτήτων. Γενικά, τα υλικά-στόχοι τιτανίου έχουν πολυκρυσταλλική δομή, με μεγέθη κόκκων που κυμαίνονται από μικρόμετρα έως χιλιοστά. Τα υλικά στόχου με λεπτόκοκκο-κοκκισμό έχουν ταχύτερο ρυθμό εκτόξευσης από τα χονδρόκοκκα-υλικά. Για στόχους με παρόμοια μεγέθη κόκκων στην επιφάνεια διασκορπισμού, η κατανομή πάχους του διασκορπισμένου εναποτιθέμενου φιλμ είναι επίσης πιο ομοιόμορφη.
